点击图片查看原图
该设备为贝意克研发用于材料连续生长的专用设备，卷对卷连续化走丝BN沉积系统是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉，它由高温生长加热系统，真空密封腔室，刚玉管，SiC纤维卷绕部件，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放卷的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点。
卷对卷连续化走丝BN沉积系统主要技术参数：
加热部分主要参数：
额定功率：12kW
额定电压：三相五线制AC220/380V
最高温度：1400℃
持续工作温度：室温-1300℃
升温速率：5-10℃/min
炉管尺寸：刚玉管Φ60*1600mm
加热区长度：200+200+200mm
控温方式：10寸液晶屏触摸控制（模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能）
控温精度：±1℃
热电偶：S型热电偶3根
加热元件：硅碳棒
卷丝筒直径：75mm
极限真空度：≤10Pa
压升率：≤1Pa/min
压力传感器：英福康 PCG550
走丝速度：10-100cm/min
供气系统：6路供气
真空系统：罗茨泵+机械泵