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真空退火炉技术参数
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HY-TZK-336-1 |
HY-TZK-448-2 |
HY-TZK-6610-3 |
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工作区尺寸mm |
300×300×600 |
400×400×800 |
600×600×1000 |
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装炉重量Kg |
80 |
200 |
500 |
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最高温度°C |
1350 |
1350 |
1350 |
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使用温度°C |
1150 |
1150 |
1150 |
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温度均匀性°C |
±5 |
±5 |
±5 |
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装机容量KVA |
100 |
150 |
200 |
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极限真空度Pa |
0.7、0.003 |
0.7、0.003 |
0.7、0.003 |
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压升率Pa/h |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
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工业气氛 |
Ar/N2/H2 |
Ar/N2/H2 |
Ar/N2/H2 |
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气体压力bar |
2 |
2 |
2 |