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产品性能：
工作温度：500℃～1280℃
额定温度：1320℃
炉温均匀性：≤±5℃
极限真空度：≤1.3Pa
压升率：≤0.3Pa/hr
加热时间：≤45min 室温到1100℃
额定冷却压力：2.8bar
设备特征：
1 采用水平卧式单室设计，结构紧凑，炉门开启方式可按用户要求设计；
2 加热器采用环形分区布置，有效提高炉温均匀性能；
3 加热室内面用选择钼板或者石墨板覆盖，满足不同的工艺要求；
4 可以最大2.8bar加压进行快速冷却；
5 对流加热功能作为选择项，可以适应不同用户的需求。
PQ系列真空炉参数：
| 有效空间尺寸(W×H×L) | 800×800×1300mm |
| 有效容积 | 9.5M3 |
| 额定装载量 | 1100kg |
| 设备重量 | 16ton |
| 额定温度 | 1320℃ |
| 炉温均匀性（空载） | ≤±5℃ |
| 额定加热功率 | 300KW |
| 总装机功率 | 355KVA |
| 最大冷却压力 | 130Kpa-280Kpa |
| 极限真空度（常规泵组） | ≤1.3×100 Pa |
| 极限真空度（高真空泵组） | ≤7.0×10-3 Pa |
| 压升率 | ≤0.3Pa/hr |
| 冷却水消耗量 | 15m3/h |
| 氮气消耗量（一个周期） | 25m3 |