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在微电子和半导体行业中，检验、过程控制或缺陷和故障分析的速度至关重要。检测缺陷的速度越快，您做出响应的速度也就越快。
视场宽敞 30%
DM3 XL 检验系统凭借大视场帮助您的团队更快地识别缺陷，提高您的收益率。充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞 30%。
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件，DM3 XL 提供独特的宏观物镜。
利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。
在宏观物镜下，缺陷无所遁形：
提高您的收益率；
可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域；
检测不均匀的径向膜厚度。
适用于所有相衬观察方法的 LED
徕卡DM3 XL正置显微镜针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。
在所有亮度等级下实现真彩色成像。
自由调节。
无需更换灯泡 – 无停机时间。
可复制的结果。
由于 LED 使用寿命长，耗电量低，因此还具有巨大的成本节约潜力。
徕卡DM3 XL正置显微镜让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。
采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑：
以简单有效的方式从不同角度照亮样品，从而实现各种形貌的可视化。
借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。
您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。
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