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(1)比渗碳温度低，工件淬火畸变量明显减少，精度提高。
(2)工件淬透性增加，即使碳素钢也能在真空炉中油淬，淬硬性明显增加，从而可以使廉价碳素钢达到合金钢的性能。
(3)抗回火软化温度提高。
(4)耐磨性和抗疲劳强度性能提高。
(5)耐腐蚀性增强。该技术由于气氛中无含氧介质，在渗层中杜绝了晶界氧化层，确保了渗层性能;同时由于使用介质的气量可控，既节约资源，又可使碳及废气的排放量大幅度减少，属于清洁型生产技术。
真空碳氮共渗是在100~3000Pa的真空状态下进行的，渗剂中没有含氧介质，金属表面的化学反应是单向的分解反应。真空碳氮共渗技术保留了气体碳氮共渗的基本特点，但渗剂气体中无含氧介质，可以在渗层组织中杜绝晶界氧化层;共渗压力低，使用的渗剂气体量少，废气排放量也大幅度减少，其优点是显而易见的。
真空碳氮共渗炉技术参数
| 有效工作区mm | 装炉量Kg | 加热功率 kw | 最高温度℃ | 炉温均匀性℃ | 极限真空度 pa |
| 600*400*400 | 100/150 | 60 | 1300 | ±5 | 4.0×10﹣¹ 6.7×10﹣³ |
| 750*500*500 | 250/300 | 80 | |||
| 900*600*600 | 400/500 | 120 | |||
| 1200*800*800 | 8000/1000 | 220 | |||
| 1500*1500*800 | 3500/4000 | 300 |