参数指标 |
APD-SJL-300 |
APD-SJL-450 |
APD-SJL-500 |
APD-SJL-600 |
APD-SJL-750 |
坩埚有效容积(mm) |
300x300X400 |
450x450X750 |
500x500X1200 |
600x600X2000 |
750x750X2000 |
装料容积(L) |
36 |
151 |
300 |
720 |
1125 |
电源功率(KW) |
100 |
165 |
250 |
400 |
550 |
极限真空度(pa) |
冷态5pa(加扩散泵可达到冷态-2) |
||||
最高温度(℃) |
2400 |
||||
加热方式(℃) |
等静压石墨笼式加热(电阻加热) |
||||
恒温区温差(℃) |
±5 |
||||
炉内工作气氛 |
真空或者惰性气体保护(微正压) |