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卷对卷连续化走丝BN沉积系统
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企业信息
- 供货总量:1000 台
- 发货期限:自买家付款之日起 3 天内发货
- 所在地:安徽 合肥市
卷对卷连续化走丝BN沉积系统主要特点:
该设备为贝意克研发用于材料连续生长的专用设备,卷对卷连续化走丝BN沉积系统是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉,它由高温生长加热系统,真空密封腔室,刚玉管,SiC纤维卷绕部件,自动化控制系统组成,两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室(即收放卷的密封装置),收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮,所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点。
卷对卷连续化走丝BN沉积系统主要技术参数:
加热部分主要参数:
额定功率:12kW
额定电压:三相五线制AC220/380V
最高温度:1400℃
持续工作温度:室温-1300℃
升温速率:5-10℃/min
炉管尺寸:刚玉管Φ60*1600mm
加热区长度:200+200+200mm
控温方式:10寸液晶屏触摸控制(模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能)
控温精度:±1℃
热电偶:S型热电偶3根
加热元件:硅碳棒
卷丝筒直径:75mm
极限真空度:≤10Pa
压升率:≤1Pa/min
压力传感器:英福康 PCG550
走丝速度:10-100cm/min
供气系统:6路供气
真空系统:罗茨泵+机械泵