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真空烤盘炉
- 面议
- 起订量：1 台
- 可售数量: 100 台
- 支持批量采购
- 发布时间：2022-03-06 10:47
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- 供货总量：100 台
- 发货期限：自买家付款之日起 3 天内发货
- 所在地：山东 青岛市
真空烤盘炉应用于LED行业MOCVD石墨盘的真空烘烤工艺。
真空烤盘炉特点
● 优质的材质保证了设备的密封性，提高了设备的整体性能。
● 法兰盘冷却水处理，密封处全部采用氟橡胶密封圈，保证设备的密封性及使用寿命。
● 内置冷却电机，保证设备的低漏率，且运行可靠。
● 真空室的压升率为5×10-3Torr /h，氦质谱仪进行检漏，漏率在E-11Pa.m3/s级。
● 全自动程序控制功能，自动化程度高，自动与手动可随时转换，处理异常情况极为方便。
● 关键部件全部采用进口部件，具有高可靠性。
● 真空烤盘炉具有良好的人机界面。
● 系统故障自诊功能。
● 完善的报警系统及安全系统。
● 具有历史记录功能。
● 可根据用户的特殊要求增减开发相应功能。
真空烤盘炉技术参数|
规格与性能 |
VBF-465 |
VBF-650 |
VBF-800 |
VBF-1000 |
|
安装尺寸 W×L×H |
2450×2500×2050 |
2480×2500×2150 |
2930×2880×2400 |
3310×3000×2700 |
|
加热区尺寸φ×L |
Φ520×700 |
Φ750×750 |
Φ890×1000 |
Φ1080×1100 |
|
工作区尺寸φ×L |
Φ480×600 |
Φ650×740 |
Φ800×900 |
Φ1000×1000 |
|
载重量 |
120Kg～200Kg |
|||
|
加热体功率 |
环状石墨加热器 380V 三相 总加热功率90～120KVA |
|||
|
绝热系统 |
多层石墨毡、柔性石墨纸 |
|||
|
最高温度 |
1450℃（超温限制） |
|||
|
分压气体选择 |
N2/混合气体（Forming gas） |
|||
|
备压气体选择 |
N2 |
|||
|
最大升温速率 |
10℃/min(空炉) |
|||
|
温度均匀性 |
±4℃（800～1400℃） |
|||
|
冷态真空度 |
（冷炉、空载、大气压状态下达到10-3 Torr）:≤30min |
|||
|
抽气速率 |
清洁空炉：30min大于10-2 Torr |
|||
|
腔体漏率 |
5×10-3 Torr/h |
|||
|
最大冷却速率 |
快冷开启之前可控可编程 |
|||
关键词：真空烤盘炉 青岛微弘设备技术有限公司
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