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滑轨式管式炉
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  • 面议
  • 起订量:1 台
  • 可售数量: 1000 台
  • 支持批量采购
  • 发布时间:2022-03-04 09:41

产地:安徽 合肥市 | 归属行业:其他

品牌:合肥费舍罗热工装备

有效期至:长期有效

联系人: 方经理 (女士) 

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联系地址:合肥市花岗工业园纬二路

商铺网址: http://www.hotwork-china.com/index.php?homepage=facerom

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  • 供货总量:1000 台
  • 发货期限:自买家付款之日起 3 天内发货
  • 所在地:安徽 合肥市

滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。 

滑轨式管式炉特点 
1、工作温度RT~1000℃。 
2、智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。 
3、采用陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环绕加热。 
4、炉壳结构,双层炉壳风冷结构。 
5、不锈钢双层密封法兰,进、出气美标针阀。 
6、两端可调节式法兰支撑结构,延长石英管的使用寿命。 
7、温度过高保护功能,当温度超过允许设定值自动断电。 
8、安全保护当炉体漏电时自动断电。 
额外选配    炉内测量系统(氧含量检测系统、温度检测系统); 
真空系统(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组); 
气氛系统(浮子流量计、质量流量计); 
监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控)。
注:选件需配置拓展柜体; 
滑轨式管式炉技术参数

设备型号

设计温度

管径

加热区

温区数

热电偶

电压

功率

FGL(RTP)-40/11/1

1100

40mm

320 mm

1

K

220V

 

 

3.0KW

FGL(RTP)-50/11/1

1100

50mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-60/11/1

1100

60mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-80/11/1

1100

80mm

320 mm

1

K

220V

注:给出的最高温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。


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