滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求,通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。
设备型号 |
设计温度 |
管径 |
加热区 |
温区数 |
热电偶 |
电压 |
功率 |
FGL(RTP)-40/11/1 |
1100℃ |
40mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
3.0KW |
FGL(RTP)-50/11/1 |
1100℃ |
50mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
|
FGL(RTP)-60/11/1 |
1100℃ |
60mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
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FGL(RTP)-80/11/1 |
1100℃ |
80mm |
320 mm |
1个 |
K型 |
220V |
注:给出的最高温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。